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DataTítuloAutor(es)TipoAcesso
2014Influence of low energy argon plasma treatment on the moisture barrier performance of hot wire-CVD grown SiNx multilayersMajee, Subimal; Cerqueira, M. F.; Tondelier, Denis; Geffroy, Bernard; Bonnassieux, Yvan; Alpuim, P.; Bourée, Jean EricArtigoAcesso aberto
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