Percorrer por assunto Ar plasma treatment
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Data | Título | Autor(es) | Tipo | Acesso |
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3-Ago-2013 | The effect of argon plasma treatment on the permeation barrier properties of silicon nitride layers | Majee, Subimal; Cerqueira, M. F.; Tondelier, D., et al. | Artigo | Acesso aberto |