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https://hdl.handle.net/1822/4577
Título: | Silver-based reflective coatings for micromachined optical filters |
Autor(es): | Bartek, M. Correia, J. H. Wolffenbuttel, R. F. |
Palavras-chave: | Nitride membrane Silver mirrors Micromachining Fabry-Perot interferometer |
Data: | 3-Jun-1998 |
Resumo(s): | Silver films of 40 nm thickness, evaporated on a 300 nm thick low-stress silicon nitride layer, are used as high-quality mirrors operating in the visible and near IR spectral range. Using a silicon nitride membrane under tension, within a square Si frame after bulk micromachining, improves the initial mirror flatness. Two parallel mirrors, with square aperture of up to 2x2 mm2 and an electrostatically controlled spacing, form a tunable Fabry-Perot optical filter. Investigation of the silver-based reflective coatings, and mirror characterisation, including influence of bulk micromachining, are presented. |
Tipo: | Artigo em ata de conferência |
Descrição: | Comunicação apresentada no MME'98, Ulvik, Norway, 3-5 June 1998. |
URI: | https://hdl.handle.net/1822/4577 |
Arbitragem científica: | yes |
Acesso: | Acesso aberto |
Aparece nas coleções: | DEI - Artigos em atas de congressos internacionais |
Ficheiros deste registo:
Ficheiro | Descrição | Tamanho | Formato | |
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