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https://hdl.handle.net/1822/1558
Título: | Spiral inductors on silicon for wireless communications |
Autor(es): | Trabulo, Pedro Durães, Dalila Mendes, P. M. Garrido, Paulo Correia, J. H. |
Palavras-chave: | Silicon spiral inductors Bulk-micromachining RFIC devices Bulk-micromachining technology |
Data: | 2004 |
Editora: | Trans Tech Publications |
Revista: | Materials Science Forum |
Citação: | Trabulo, P. M., Durães, D. A., Mendes, P. M., Garrido, P. J., & Correia, J. H. (2004, May 15). Spiral Inductors on Silicon for Wireless Communications. Materials Science Forum. Trans Tech Publications, Ltd. http://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.455-456.116 |
Resumo(s): | This paper presents the design and fabrication of integrated micromachined inductors on silicon substrates. In order to reduce eddy currents in silicon substrates, bulk-micromachining technology is used to etch the silicon wafer. In this way, aluminum spiral micromachined inductors can achieve a quality factor Q of approximately 30 (0.6-2 nH @ 2-15 GHz). Also, the resistivity of the inductors material is discussed. |
Tipo: | Artigo em ata de conferência |
URI: | https://hdl.handle.net/1822/1558 |
ISBN: | 0878499415 |
DOI: | 10.4028/www.scientific.net/msf.455-456.116 |
ISSN: | 0255-5476 |
Versão da editora: | http://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.455-456.116 |
Arbitragem científica: | yes |
Acesso: | Acesso aberto |
Aparece nas coleções: | DEI - Artigos em atas de congressos nacionais |
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Ficheiro | Descrição | Tamanho | Formato | |
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