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Data | Título | Autor(es) | Tipo | Acesso |
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30-Jan-2004 | Effect of substrate bias voltage on amorphous Si–C–N films produced by PVD techniques | Cunha, L.; Moura, C.; Leme, J.; Andrês, G.; Pischow, K. | Artigo | Acesso aberto |
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Assunto
Data de publicação
- 1 2004