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Data | Título | Autor(es) | Tipo | Acesso |
3-Set-2015 | Composition and structure variation for magnetron sputtered tantalum oxynitride thin films, as function of deposition parameters | Cristea, D.; Pătru, M.; Crisan, A., et al. | Artigo | Acesso restrito UMinho |
2015 | Structural, mechanical and piezoelectric properties of polycrystalline AlN films sputtered on titanium bottom electrodes | Pătru, M.; Isac, L.; Cunha, L., et al. | Artigo | Acesso restrito UMinho |