Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/1822/8388

TitleHot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
Author(s)Gonçalves, L. M.
Alpuim, P.
Filonovich, Sergej
Viseu, T. M. R.
Lanceros-Méndez, S.
KeywordsSilicon
Nitride
Issue date1-Apr-2007
CitationCONFERENCE OF SOCIEDADE PORTUGUESA DE MATERIAIS,13, Porto, 2007 – “Materiais 2007 : abstracts”. Porto : Faculdade de Engenharia, 2007. ISBN 978-972-8953-15-7.
TypeArticle
URIhttp://hdl.handle.net/1822/8388
ISBN978-972-8953-15-7
Peer-Reviewedno
AccessOpen access
Appears in Collections:DEI - Artigos em atas de congressos internacionais

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