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DataTítuloAutor(es)TipoAcesso
3-Ago-2013The effect of argon plasma treatment on the permeation barrier properties of silicon nitride layersMajee, Subimal; Cerqueira, M. F.; Tondelier, D.; Geffroy, B.; Bonnassieux, Y.; Alpuim, P.; Bourée, J. E.ArtigoAcesso aberto
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