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DataTítuloAutor(es)TipoAcesso
2015Permeation barrier performance of Hot Wire-CVD grown silicon-nitride films treated by argon plasmaMajee, S.; Cerqueira, M. F.; Tondelier, D.; Vanel, J. C.; Geffroy, B.; Bonnassieux, Y.; Alpuim, P.; Bourée, J. E.ArtigoAcesso aberto
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