Percorrer por assunto Low-temperature deposition
Mostrar 1-3 de um total de 3 resultados.
Data | Título | Autor(es) | Tipo | Acesso |
Abr-2009 | Deposition of silicon nitride thin films by hot-wire CVD at 100ºC and 250ºC | Alpuim, P.; Gonçalves, L. M.; Marins, Emílio Sérgio, et al. | Artigo | Acesso aberto |
2015 | Effect of argon ion energy on the performance of silicon nitridemultilayer permeation barriers grown by hot-wire CVD on polymers | Alpuim, P.; Majee, S.; Cerqueira, M. F., et al. | Artigo | Acesso aberto |
2007 | Phosphorous and boron doping of nc-Si:H thin films deposited on plastic | Filonovich, Sergej; Ribeiro, M.; Rolo, Anabela G., et al. | Artigo | Acesso restrito UMinho |