Percorrer por assunto Hot-wire CVD
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Data | Título | Autor(es) | Tipo | Acesso |
Abr-2009 | Deposition of silicon nitride thin films by hot-wire CVD at 100ºC and 250ºC | Alpuim, P.; Gonçalves, L. M.; Marins, Emílio Sérgio, et al. | Artigo | Acesso aberto |
2015 | Effect of argon ion energy on the performance of silicon nitridemultilayer permeation barriers grown by hot-wire CVD on polymers | Alpuim, P.; Majee, S.; Cerqueira, M. F., et al. | Artigo | Acesso aberto |
2006 | Optimization of deposition parameters for thin silicon films on flexible substrates in a hot-wire chemical vapor deposition reactor | Alpuim, P.; Ribeiro, M.; Filonovich, Sergej | Artigo em ata de conferência | Acesso aberto |
9-Mar-2011 | Piezoresistive silicon thin film sensor array for biomedical applications | Alpuim, P.; Correia, Vítor; Marins, Emílio Sérgio, et al. | Artigo | Acesso aberto |